行業(yè)轉(zhuǎn)型，TOPCon電池率先實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)：隨著PERC電池量產(chǎn)效率逐漸接近其理論效率，行業(yè)開始轉(zhuǎn)向TOPCon/HJT等N型電池。而TOPCon電池以其電池效率高、設(shè)備投 資成本低、與PERC產(chǎn)線兼容性高等優(yōu)點，率先實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。據(jù)不完全統(tǒng)計，截止目前，TOPCon已投產(chǎn)69.75GW，規(guī)劃待建產(chǎn)能近474GW。

TOPCon存在工藝路線之爭。TOPCon電池與PERC電池核心差異在于，新增隧穿氧化層，以及摻雜多晶硅層。以多晶硅層制備方法，TOPCon工藝路線分為LPCVD/PECVD/PVD路線。從工業(yè)應(yīng)用角度看，摻雜多晶硅層制備方法，要求工藝簡單、產(chǎn)能大；隧穿氧化層因其對電池整體性能影響十分關(guān)鍵，要求工藝制備的膜層致密度高、均勻性好。

從技術(shù)角度看，PECVD法能實現(xiàn)LPCVD法同等制備效果，且清洗繞鍍簡單，工藝精簡、良率預(yù)期更高。LPCVD路線技術(shù)成熟，但有嚴(yán)重繞鍍、原位摻雜難等問題。因繞鍍，LPCVD設(shè)備需增加一倍設(shè)備；PVD路線，根據(jù)ISFH研究觀點，PVD鈍化效果略差。且實際運行中，維護頻率高，開機率低；而PECVD路線輕微繞鍍、且清洗容易，可原位摻雜、工藝精簡，爆膜問題可通過電池背面微制絨解決。隧穿氧化層質(zhì)量對電池效率影響至關(guān)重要。文獻數(shù)據(jù)顯示：從膜層密度角度看，PECVD制備的氧化層密度（2.2g/cm3）要優(yōu)于LPCVD（2.15g/cm3）；從膜層均勻性角度看，PECVD法制備的氧化層粗糙度1.38nm，與LPCVD制備的氧化層粗糙度1.36nm相當(dāng)。

從經(jīng)濟性角度看，PECVD路線設(shè)備投 資成本低、產(chǎn)能大、維護成本低、開機率高。根據(jù)皇氏集團機構(gòu)調(diào)研紀(jì)錄表，（1）PE路線比LP路線設(shè)備采購成本少；（2）PE路線工藝時間短，單臺設(shè)備產(chǎn)能大，設(shè)備機臺數(shù)量少，省空間，設(shè)備好布局；（3）維護成本對比：LP路線石英管壽命平均56天，石英舟壽命60天，石英件消耗162萬/臺/年，PE路線石英管壽命1-2年，只有正常的石墨舟消耗，LP設(shè)備的石英件消耗比PE設(shè)備費用預(yù)計多出3530萬/年（5GW計）；（4）設(shè)備人員配置上，LP路線估計是PE路線的一倍以上，每天在做維護換石英管，且設(shè)備利用率較低，更換石英管需要3-4小時，期間整臺設(shè)備需停機。

結(jié)論：我們認(rèn)為工藝穩(wěn)定后，PECVD成為TOPCon主流工藝，推動TOPCon大規(guī)模量產(chǎn)。建議關(guān)注：光伏整線設(shè)備龍 頭捷佳偉創(chuàng)（公司推出PE-Poly，即采用PECVD路線）、光伏激光設(shè)備龍頭帝爾激光。